4104C 是ZYGO公司生产的测量电子设备，属于其位移测量干涉仪系统的一部分。该设备专门设计用于高精度位移测量，广泛应用于半导体制造、精密机械和科研领域。4104C 的核心功能是处理和分析来自ZYGO干涉仪的信号，从而实现纳米级的位移测量。它提供了必要的电子功能，以确保测量结果的准确性和可靠性。ZYGO以其在精密光学测量领域的专业知识而闻名，4104C 体现了该公司对高精度和可靠性的承诺。

2. 产品参数

以下是 4104C 测量电子设备的一些关键技术参数：

• 型号： 4104(C)
• 应用领域： 位移测量干涉仪
• 轴/板数： 4
• 最小光功率： 0.07 µW
• 位置分辨率： 0.15 nm
• 最大速度： ±2.55 m/s
• 最大速度下的精度 (σ)： 0.2 nm
• 循环误差补偿： 有
• 兼容激光器： 7702, 7714, 和 7724

3. 优势和特点

• 纳米级精度： 能够实现极高的测量精度，满足最严格的应用要求。
• 系统集成： 专为ZYGO干涉仪系统设计，确保无缝集成和最佳性能。
• 高可靠性： 适用于高要求的工业和科研环境，保证长期稳定运行。
• 循环误差补偿： 具备循环误差补偿功能，进一步提高测量精度。

4. 应用领域和应用案例

• 半导体制造： 用于晶圆定位、测量和检测。
• 精密机械： 用于高精度机床、测量设备和定位系统的校准。
• 科研： 用于纳米级位移测量实验、材料研究和表面分析。
• 光学测量： 用于高精度光学元件的测量和检测。

5. 竞品对比

• ZYGO在精密光学测量领域拥有领先的技术和丰富的经验，其产品在精度、可靠性和系统集成方面具有显著优势。