描述
0100-71271 AMAT
AMAT 0100-71271产品说明
产品概述
AMAT 0100-71271是一款用于蚀刻工艺的等离子体刻蚀腔室模块。它具有以下特点:
高性能:
采用高密度等离子体技术,可实现高蚀刻速率和均匀性
支持多种蚀刻工艺,可满足不同需求
高可靠性:
采用模块化设计,方便维护
拥有完善的故障保护机制,可确保系统稳定运行
易于使用:
参数设置简单,操作方便
提供多种软件接口,可满足不同应用需求
产品参数
型号:0100-71271
适用晶圆尺寸:200mm
蚀刻工艺:RIE、ICP等
蚀刻速率:>10μm/min
均匀性:±3%
电源:20kW
尺寸:1000mm x 1000mm x 1500mm
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