810-046015-010 LAM

品牌介绍:

LAM Research是一家全球领先的半导体设备制造商，致力于为半导体行业提供创新、高效的解决方案。LAM Research的产品和服务包括:

蚀刻设备

薄膜沉积设备

清洗设备

检测设备

软件

LAM Research的产品和服务以其高性能、可靠性和易用性而闻名。

总结:

810-046015-010是一款功能强大、应用灵活的温度控制器，可用于各种半导体制造工艺中的蚀刻腔体温度控制应用。LAM Research是一家全球领先的半导体设备制造商，为810-046015-010提供可靠的售后服务和技术支持。

分类：
  • 销售经理：白佳乐
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描述

810-046015-010 LAM

810-046015-010 LAM产品说明

产品名称:LAM Research蚀刻腔体温度控制器

型号:810-046015-010

产品概述:

810-046015-010是一款高性能、紧凑型温度控制器，专为满足半导体制造工艺中的蚀刻腔体温度控制需求而设计。它具有高精度、高稳定性和易用性等特点，可用于各种蚀刻工艺的温度控制。

产品参数:

温度范围:0°C至200°C

精度:±0.1°C

稳定性:±0.05°C

控制方式:PID

通信协议:RS-485

电源:24 V DC

工作温度:0°C至50°C(32°F至122°F)

防护等级:IP20

产品应用:

810-046015-010可用于各种半导体制造工艺中的蚀刻腔体温度控制应用，包括:

硅刻蚀

介质刻蚀

金属刻蚀

Tylan VC-4900VRH 500SCCM Gas: H2O vapor LAM 797-92438

Brooks 5964 5964C2MAFN5KA 200SCCM CL2 797-029187-505

Tylan VC-4900VRH 500sccm H2O Vapor remote electronics

MKC 170 00 530.b 17000530.b

Millipore FC2900 4V Viton 2SLPM Gas: O2 NEW

Millipore FC2910 4V Viton 2.5 SLPM Gas: N2 NEW

AEG PC-A984-145 DEP 216 & DAP 216N PLC

Horiba STEC SEC-4400M 2sccm gas: BF3

Mykrolis FC-2910V 30 SLPM Gas: O2 NEW

Millipore FC-2900V 500sccm Gas: N2 NEW

Tencor instruments assy 058457 Rev. C

DY-4 PD-STD503 Tencor instruments 063975 Rev. J

Tencor instruments assy 054135 Rev. I

Tencor instruments assy 054453

Tencor instruments assy 054364 Rev. P

Millipore FC-260KZ 200 sccm BCL3 NEW

公司主营产品： FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、BENTLY、ROCKWELL、ABB、GE、Allen-Bradley、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth、SEW、丹控。
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