描述
810-082745-003 LAM
产品概述
LAM 810-082745-003是一款用于半导体制造的蚀刻腔体。它采用创新的设计和技术,可提供高精度、高均匀性和高可靠性的蚀刻性能。
产品参数
腔体尺寸:8英寸
蚀刻工艺:RIE、ICP
蚀刻材料:Si、SiO2、SiN、PolySi
蚀刻速率:可调
均匀性:±0.5%
重复性:±0.2%
产品应用
逻辑芯片制造
存储芯片制造
MEMS制造
光电子器件制造
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