描述
810-091934-00 LAM
产品概述
810-091934-00是LAM Research公司生产的用于等离子体刻蚀应用的RF发生器。该发生器具有以下特点:
高性能:810-091934-00发生器可提供高达500 W的RF功率,可满足各种等离子体刻蚀应用的需求。它还具有高效率和低抖动,可确保卓越的工艺性能。
高可靠性:810-091934-00发生器采用坚固耐用的设计,可在恶劣环境中可靠运行。它具有多种保护功能,可确保发生器和连接设备的安全。
易用性:810-091934-00发生器易于配置和使用。它提供多种管理选项,包括Web GUI、CLI和SNMP。它还提供易于使用的软件工具,用于配置和监控发生器。
产品参数
电源电压:208-480 V AC
功耗:<2 kW
工作温度:0°C至+50°C
相对湿度:0%至95%(非冷凝)
防护等级:IP54
尺寸:610 mm x 510 mm x 254 mm
重量:50 kg
产品应用
810-091934-00发生器可用于各种等离子体刻蚀应用,包括:
微电子制造
光电子器件制造
数据存储器制造
薄膜沉积
品牌介绍
LAM Research是一家全球领先的半导体制造设备供应商。该公司成立于1977年,总部位于美国加利福尼亚州弗里蒙特市。LAM Research的产品和服务用于制造各种半导体器件,包括集成电路、LED和太阳能电池。
Rexroth Prop. Amplifier Cat# VT5014-S32-R1 Used
Rexroth VT-5003 Prop Amplifier
Rexroth VT 5011 Proportional Amp Card
Rexroth Prop Amplifier VT5003 5-3X-RIE #24604
Rexroth Proportional Amplifier VT5003 S42 R1 #24599
Rexroth VT5003-42/R1E Proportional Amplifier #25582
Rexroth VT5003 S31 R1 Proportional Amplifier #25575
Rexroth VT5012S31 R1 Prop Amplifier #VT 5012 VT5012
Rexroth VT 5012 Proportional Amplifier VT5012
REXROTH VT2000S42 NSPP VT2000S42
Rexroth VT 5011 S42 R1 Proportional Amp Card #10154
Rexroth Amplifier Control Card Board VT VT5005-17b
Rexroth Proportional Amplifier Card in Holder #VT500354
Mannesmann Rexroth Amplifier VT5005 S16 R5 engl #4 NEW
REXROTH PROP AMPLIFIER VT 5002-25/R5E NEW IN BOX
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