839-101612-885 LAM

　　品牌介绍

LAM Research是全球领先的半导体制造设备供应商。该公司成立于1974年，总部位于美国加利福尼亚州弗里蒙特市。LAM Research在全球拥有超过1万名员工，并在15个国家设有业务。

LAM Research致力于为客户提供最先进的半导体制造设备，以帮助客户制造更小、更快的芯片。该公司积极投资研发，并与全球领先的芯片制造商合作，开发下一代半导体制造设备。

LAM Research的产品对于推动半导体技术的进步至关重要。该公司的产品使芯片制造商能够制造更强大的芯片，这推动了智能手机、计算机和其他电子设备的性能和功能的不断发展。

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  • 销售经理：白佳乐
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描述

839-101612-885 LAM

839-101612-885是LAM Research生产的蚀刻腔室组件，用于蚀刻晶圆上的半导体材料。该组件由多种部件组成，包括：

腔室主体：由不锈钢或其他耐腐蚀材料制成，用于容纳蚀刻气体和晶圆。

淋浴头：用于将蚀刻气体均匀地喷射到晶圆表面。

排气系统：用于排出蚀刻废气和副产品。

加热器：用于控制腔室温度，影响蚀刻速率。

温度控制器：用于监控和调节腔室温度。

流量控制器：用于控制蚀刻气体的流量。

压力控制器：用于控制腔室压力。

产品参数

839-101612-885的具体参数因具体的腔室设计而异，但一般包括以下内容：

腔室尺寸：直径、高度

蚀刻气体类型：氯、氟、溴等

蚀刻速率：每分钟纳米数

温度范围：室温至数百摄氏度

压力范围：大气压以下至数个大气压

流量范围：每分钟标准立方厘米数

产品应用

839-101612-885广泛应用于各种半导体制造工艺，包括：

晶圆清洁：去除晶圆表面的污染物。

沟槽蚀刻：形成晶圆上的沟槽和结构。

接触孔蚀刻：形成晶圆上的接触孔，用于连接不同器件层。

介质蚀刻：形成晶圆上的隔离层。

金属蚀刻：形成晶圆上的金属互连。

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