描述
853-049542-173 LAM
LAM Research 853-049542-173产品说明
产品概述
LAM Research 853-049542-173是一款用于蚀刻工艺的等离子体刻蚀腔室模块。它具有以下特点:
高性能:
采用高密度等离子体技术,可实现高蚀刻速率和均匀性
支持多种蚀刻工艺,可满足不同需求
高可靠性:
采用模块化设计,方便维护
拥有完善的故障保护机制,可确保系统稳定运行
易于使用:
参数设置简单,操作方便
提供多种软件接口,可满足不同应用需求
产品参数
型号:853-049542-173
适用晶圆尺寸:200mm
蚀刻工艺:RIE、ICP等
蚀刻速率:>10μm/min
均匀性:±3%
电源:20kW
尺寸:1000mm x 1000mm x 1500mm
Fluke DSP-4100 Cat6 SM / MM Fiber Cable Tester DSP4100
Anritsu Site Master S113B Cable Antenna SiteMaster S113
Fluke Microtest OMNIScanner 2 Cat6 OMNI SM MM Fiber
Agilent HP E6000C SM MM Fiber OTDR w E6012A E6005A 41dB
Agilent HP E6000C Mini OTDR MainFrame E6000
Fluke DSP-4100 Cat6 DSP41 00 FTA410 MM Fiber DSP-FTA410
Anritsu MW9076 SM Fiber OTDR MU250000A4 MW9076B1 40dB
Agilent HP E6000C OTDR E6012A SM Fiber E6000 1625 41dB
Agilent HP E6005A MM OTDR Module 850nm 1300nm E6000
Sumitomo Type-65 Ribbon Fiber Fusion Splicer Cleaver
Fluke DSP-4100 Cat6 DSP4100 FTA420 MM Fiber DSP-FTA420
Agilent HP E6012A SM OTDR Module 1550nm 1625nm 41dB
Tempo Sidekick T&N Twisted Pair Cable Tester TN T And N
Fluke 199 ScopeMeter HandHeld 200Mhz Oscilloscope 199B
TTC JDSU Acterna 2000 T-BERD 2310 TBERD OC3 OC12 OC48
EXFO FTB-300 SM OTDR FTB-7223B FTB-3922 Multitest VFL
AFL NOYES SLP 4-6 SM Fiber Loss Tester OPM 4-4 OLS OLS2
EXFO FLS-241 Visual Fault Identifier Universal VFL
JDSU Acterna DSAM-1000B Digtal CATV Meter DSAM1000 DSAM
Wavetek Acterna JDSU SAM 4040 Signal CATV SAM4040 Meter
EXFO FOS-120A SM 1310/1550 Fiber Optic Light Source FOS
Siecor Corning OTDR Plus 383-MD55 SM MM Fiber PM VFL
Fluke Networks OptiView Workgroup Analyzer OPV-WGA OPV
等各大品牌的DCS 、PLC 、机器人 、大型伺服 四大系统备件。(进口原装正品,专业停产配件)
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