描述
979B-01-0013 MKS
产品概述
MKS 979B-01-0013是979B系列压力传感器之一,适用于测量大气压到真空范围内的压力。它具有高精度、高可靠性和快速响应速度等特点。
产品参数
测量范围:0.01 Torr至1000 Torr
精度:±0.5%F.S.
分辨率:0.01 Torr
响应时间:<1 ms
工作温度范围:-20°C至85°C
补偿温度范围:-10°C至70°C
电源电压:24 V DC
输出信号:0-10 V DC
产品应用
979B-01-0013可用于各种应用,包括:
半导体制造
薄膜沉积
气体分析
真空镀膜
泄漏检测
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